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问题描述

在进行芯片阵列缺陷检测时，如何使用频域变换等方法消除芯片本身图案的干扰？

检测需求

例如以上两个原图，期望将第一张图中的油污和第二张图中的划伤能够检测出来。限定方法需要用图像处理算法工具来消除芯片图案，留下缺陷。

尽量保留缺陷的完整的轮廓，不是只要检出即可。

两个图可以用不同的参数，和不同的算法工具。但，期望尽量只调参，不修改算法流程。

效果图展示

解决思路

使用频域转换提取频域

用双阈值+图像增强留下感兴趣的区域，之后使用频域滤波过滤

将滤波后的结果转回空域，效果如下

检测效果